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掃描電鏡的主要功能及原理須知

更新時間:2020-08-13      點擊次數:1260
   掃描電鏡的工作原理是用一束極細的電子束掃描樣品,在樣品表面激發(fā)出次級電子,次級電子的多少與電子束入射角有關,也就是說與樣品的表面結構有關,次級電子由探測體收集,并在那里被閃爍器轉變?yōu)楣庑盘?,再經光電倍增管和放大器轉變?yōu)殡娦盘杹砜刂茻晒馄辽想娮邮膹姸?,顯示出與電子束同步的掃描圖像。圖像為立體形象,反映了標本的表面結構。為使標本表面發(fā)射出次級電子,標本在固定、脫水后,要噴涂上一層重金屬微粒,重金屬在電子束的轟擊下發(fā)出次級電子信號。
  掃描電鏡的制造是依據電子與物質的相互作用。當一束高能的入射電子轟擊物質表面時,被激發(fā)的區(qū)域將產生二次電子、俄歇電子、特征X射線和連續(xù)譜X射線、背散射電子、透射電子,以及在可見、紫外、紅外光區(qū)域產生的電磁輻射。同時也可產生電子-空穴對、晶格振動(聲子)、電子振蕩(等離子體)。
  原則上講,利用電子和物質的相互作用,可以獲取被測樣品本身的各種物理、化學性質的信息,如形貌、組成、晶體結構、電子結構和內部電場或磁場等等。掃描電鏡正是根據上述不同信息產生的機理,采用不同的信息檢測器,使選擇檢測得以實現。如對二次電子、背散射電子的采集,可得到有關物質微觀形貌的信息;對x射線的采集,可得到物質化學成分的信息。正因如此,根據不同需求,可制造出功能配置不同的掃描電鏡。

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